Abstract. Среди известных сверхпроводников купратные сверхпроводники отличаются высокой критической температурой, что делает их идеальными для современных применений. В данном исследовании мы сосредоточиваемся на одном из таких купратных сверхпроводников — YBaₓCuₓOₓ (YBCO). С целью получения высококачественных пленок YBCO с осями a и c были выращены пленки YBCO методом молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) из оксида и проанализированы с помощью дифракции высокоэнергетических электронов (RHEED), рентгеновской дифракции (XRD) и рентгеновской рефлексии (XRR). МЭДР позволила осуществлять мониторинг роста пленки in situ, а РДГ использовалась для анализа качества структуры, оценки изменений, необходимых для получения плёнок лучшего качества, и определения констант решётки. Наконец, РРР позволила оценить шероховатость поверхности и толщину плёнки. В целом, эти методы позволили вырастить высококачественные тонкоплёночные образцы YBCO с осями a и c.