Abstract. Hozirgi vaqtda ion implantatsiya usuli materiallarning sirt xususiyatlarini maqsadli o'zgartirishning keng qo'llaniladigan usullaridan biridir. Ion implantatsiyasini qo'llashning asosiy sohasi yarimo'tkazgich kristallariga aralashmalarni kiritishdir. Ushbu maqolada Kremniy kristallini Bor bilan implantatsiya qilgandan keyingi strukturasining eksperimental tadqiqotlari natijalari keltirilgan. Yorug`likning kombinatsion sochilishi usulining yarimo'tkazgich kristallarining sirt tuzilishidagi buzilishlarga yuqori sezgirligi ko'rsatilgan. Spektrometr yurug`likning kombinatsion sochilish spektroskopik metodi yoki Romanov spektroskopiyasiga asoslangan.