Abstract. В статье исследованы плотность состояний валентных электронов, параметры энергетических зон, энергетические, оптические и электрофизические свойства пленок оксидов металлов и силицидов толщиной ≤ 40 Å, образующихся на поверхности Si/Cu в процессе ионной имплантации и отжига.